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黄洪钟教授等获2015年度四川省科技进步奖
发布时间: 2016.08.16     作者: admin     浏览次数: 929

  2016年7月7日上午,四川省科技创新、科技奖励大会暨系统推进全面创新改革试验工作会议在成都隆重召开。省委书记王东明出席并讲话,省委副书记、省长尹力主持并就贯彻落实会议精神提出要求。省政协主席柯尊平、省委副书记刘国中出席。省委常委,省人大常委会、省政府、省政协领导,省法院院长、省检察院检察长,省政府秘书长,各民主党派省委和省工商联负责人,各市州党委政府、省直部门和中央在川单位主要负责同志,全省国家级和省级开发区、保税区、物流园区主要负责同志,部分科研单位、高等学校、国有企业和在川军工企业、民营企业负责人,创新创业园区及平台代表,在川“两院”院士代表,受表彰代表等参加大会。

  会上,副省长刘捷宣读《四川省人民政府关于授予2015年度四川省科学技术奖励的决定》。系统可靠性与安全性研究中心黄洪钟教授主持完成的《超精密温度控制装置》 项目获得2015年度四川省科技进步奖二等奖。黄洪钟教授等作为项目完成人参加了此次大会。

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  获奖项目以解决极紫外光刻机物镜的温管和温控为出发点,研制了大功率超精密半导体制冷模块,应用主动温度控制方法和层次结构实现了全场多通道温度均匀控制,完成了超精密温控系列装置的设计研发。项目成果获国家发明专利 5 项及软件著作权 2 项。产品主要应用在半导体制造业、高档数控行业和航空航天上。

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